杨利霞
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 掺硼非晶硅薄膜的电阻不稳定性研究被引量：1
- 2008年
- 以硅烷和硼烷为气相反应气体,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了硼掺杂氢化非晶硅薄膜。测试了不同样品电阻随测试时间的变化,以及光照和噪声对材料电学性质的影响。结果表明,刚制备出来的样品存在氧化现象,长时间光照会出现S-W效应,由于RTS噪声的存在,样品电阻会出现随机性波动。
- 杨利霞吴志明李世彬蒋亚东朱魁鹏李伟廖乃镘
- 关键词：氢化非晶硅硼掺杂噪声等离子体增强化学气相沉积
- 一种测试多层膜系热导率的方法
- 2010年
- 提出了一种测试多层薄膜热导率的结构。用ANSYS有限元分析软件对该结构进行了仿真,分析了加热功率以及悬梁长度和宽度等因素对测试结构温度分布的影响。仿真结果与理论相吻合,验证了该方法的可行性。微桥结构多层膜系的热导率是影响器件性能的关键参数之一。该测量方法无须在真空中实施,结构简单,操作方便。
- 祝婕吴志明杨利霞袁凯蒋亚东
- 关键词：热导率ANSYS软件
- 光波导传输损耗测量新方法
- 2008年
- 详细介绍了一种测量光波导传输损耗的匹配液测量法。通过将波导插入折射率高于波导芯层的液体将光线耦合出波导,获得波导传输线上各点实际通过的光强,拟合出光强传输衰减曲线。与传统测量方法相比,本方法可对波导进行重复性测量,尤其适用于传输损耗低于0.1 dB/cm光波导的测量。
- 杨利霞饶建珍高宇
- 关键词：传播损耗测量方法
