金凤泽
- 作品数：4 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究
- 2009年
- 多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计算多束SPPS干涉光刻成像的仿真软件.模拟和分析表明,该模型及软件计算准确、快速,达到预期效果,为实现无掩模SPPs干涉光刻全过程模拟和曝光实验研究的开展提供了技术支撑.
- 郑宇王景全金凤泽张志友牛晓云杜惊雷
- 关键词：干涉光刻模拟软件混合编程
- 一种高灵敏度混合型表面等离子体检测传感器的制作方法
- 一种高灵敏度混合型表面等离子体传感器的制作方法，步骤如下：(1)根据入射光源波长的需要选择基底材料，并对基底进行清洗、干燥；(2)将清洗干净的基底玻片放入镀膜机中蒸镀或磁空溅射一层金膜，然后用氮气进行干燥；(3)在金膜层...
- 杜春雷金凤泽尹韶云史立芳
- 文献传递
- 表面等离子体波成像传感器的实验研究被引量：5
- 2010年
- 基于表面等离子体激元共振光强调制传感器原理与高分辨率显微成像系统的优势,介绍了一种结构简单而且成本较低的高灵敏度新型表面等离子体波成像折射率传感器,具有高灵敏度、免标记和高通量等优点,可以应用于生物、环境监测等领域。利用自行研制的SPRI光路系统开展了不同折射率的蔗糖溶液的单通道成像检测实验,获得了反射光强与待测溶液折射率的关系曲线。分析了影响实验灵敏度的几个主要因素,为系统改进提供了依据。实验结果表明:在最佳角度下,该传感器实验系统的检测精度达到了3.6×10-4 RIU。为实现小型化、高通量、多通道检测的SPR生化技术的发展奠定了基础。
- 金凤泽杜春雷史立芳高洪涛邓启凌杜惊雷郭永康
- 关键词：传感器表面等离子体图像灵敏度
- 表面等离激元体干涉制备纳米光子晶体的模拟分析被引量：6
- 2009年
- 利用表面等离激元短波长和近场增强效应的特性,用多束p偏振态相干光激发表面等离激元(SPPs),并优化干涉光刻的曝光参数,可获得高分辨率、高对比度周期性纳米结构。阐述了多束SPPs干涉法制备纳米光子晶体的原理,并得到了干涉场强度分布随光束增加的关系。随着干涉SPPs数目的增加,干涉场会复杂变化,对此进行了计算机模拟。模拟了三束SPPs和六束SPPs干涉的强度分布,并分析了调制技术干涉曝光结果。该方法适合光电子器件中大范围亚波长的周期性孔阵或点阵结构的制作以及纳米量级光子晶体的的制作,并可以有效降低制作成本。
- 金凤泽方亮张志友杜惊雷郭永康
- 关键词：光子晶体表面等离激元
