王斌
- 作品数：5 被引量：21H指数：2
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 一种微电容式传感器检测电路的分析与改进被引量：16
- 2008年
- 介绍了一种本实验室开发的集成传感器,它实现了敏感电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现敏感电容值以及参考电容值与频率值的转换,通过对两频率求差来抑制各种共模干扰。对样片进行了测试,输出频率与理论值有较大的偏差。通过分析,给出了测试结果发生偏差的原因。最后,给该电路设计了启动电路,改进了CMOS开关控制电路,重新对电路的结构进行了设计,实现了与实验室新一代传感器的集成。
- 王斌黄晓东秦明黄庆安
- 关键词：MEMS接口电路
- 单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计被引量：3
- 2007年
- 介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路，该电路基于电容一频率转化原理，并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析，并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果，测试结果与仿真结果一致，在80～110kPa量程内，接口电路的分辨率为3．77Hz／hPa。
- 黄晓东张筱朵王斌秦明黄庆安
- 关键词：微机电系统单片集成
- 单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计
- 介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用 Pspice 对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出...
- 黄晓东张筱朵王斌秦明黄庆安
- 关键词：微机电系统单片集成
- 文献传递
- 一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试被引量：2
- 2008年
- 提出了一种新型电容式压力传感器。在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化。同时介绍了接口电路的设计,该电路基于电容-频率转换原理。该传感器结构简单,实现了与CMOS接口电路集成。传感器采用标准CMOS工艺与后处理工艺相结合的方式制造。结果表明,在800hPa到1100hPa的压力范围,传感器灵敏度约为44fF/hPa,接口电路的分辨率为3.77Hz/hPa。
- 黄晓东王斌秦明黄庆安
- 关键词：单片集成电容式压力传感器接口电路
- MEMS电容式压力传感器片上接口电路测试分析及改进被引量：2
- 2007年
- 对电容式压力传感器片上接口电路测试结果进行分析.针对电路中施密特触发器存在较大的寄生电容以及阈值电平较难调整的问题,提出了改进型施密特触发器,仿真结果表明:改进施密特触发器传输特性与原触发器类似,却大大减少了寄生电容,阈值电平也容易调整.同时提出了负电容等效电路,解决了接口电路因初值电容偏大,所导致接口电路灵敏度偏低的缺点,并通过PSPICE仿真,验证了负电容改善接口电路的灵敏度的可行性.
- 黄晓东王斌秦明
- 关键词：施密特触发器灵敏度负电容
