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迟晓珠

作品数：3 被引量：10H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 2篇倒装焊
  • 2篇圆片
  • 2篇真空封装
  • 2篇氢氟酸
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇吸气剂
  • 2篇封装
  • 1篇频响函数
  • 1篇陀螺
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇MEMS陀螺

机构

  • 3篇北京大学

作者

  • 3篇闫桂珍
  • 3篇迟晓珠
  • 2篇郭中洋
  • 2篇丁海涛
  • 2篇赵前程
  • 2篇郝一龙
  • 2篇杨振川
  • 1篇崔健

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法
本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法，它包括如下步骤：对盖帽玻璃片进行打孔，但不打通；在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金，并进行光刻和腐蚀，形成掩膜；用氢氟酸腐蚀玻璃腔体，同时将未穿通的引...
丁海涛杨振川郭中洋迟晓珠赵前程郝一龙闫桂珍
文献传递
一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法
本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法，它包括如下步骤：对盖帽玻璃片进行打孔，但不打通；在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金，并进行光刻和腐蚀，形成掩膜；用氢氟酸腐蚀玻璃腔体，同时将未穿通的引...
丁海涛杨振川郭中洋迟晓珠赵前程郝一龙闫桂珍
文献传递
MEMS陀螺振动特性试验技术被引量：10
2008年
对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用不同的方法进行动态试验。本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统,并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系统传递函数的快速测定方法,分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题。
迟晓珠崔健闫桂珍
关键词：微机械陀螺频响函数
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