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刘川

作品数：16 被引量：10H指数：2
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信经济管理动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 3篇学位论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇经济管理
  • 2篇电子电信
  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 9篇封装
  • 8篇微机电系统
  • 8篇机电系统
  • 8篇电系统
  • 7篇真空封装
  • 5篇键合
  • 4篇圆片
  • 4篇圆片级
  • 3篇真空
  • 3篇真空度测量
  • 3篇频谱
  • 2篇电力
  • 2篇电力线
  • 2篇电力线信道
  • 2篇信道
  • 2篇营销
  • 2篇噪声
  • 2篇频谱感知
  • 2篇腔体
  • 2篇渠道

机构

  • 16篇华中科技大学

作者

  • 16篇刘川
  • 10篇汪学方
  • 9篇刘胜
  • 8篇张鸿海
  • 8篇张卓
  • 8篇甘志银
  • 6篇黎藜
  • 5篇罗小兵
  • 3篇彭薇
  • 2篇王臻
  • 1篇张卓
  • 1篇王宇哲

传媒

  • 1篇工程热物理学...
  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 6篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺...
汪学方黎藜张卓刘川甘志银张鸿海刘胜
文献传递
荆州广厦建设公司市场营销战略研究
荆州市广厦建设发展有限责任公司（下称荆州广厦）组建于1998年7月，是一家民营施工总承包企业。随着中国经济进入增速放缓的新常态时期，作为一家地区性中小型建筑企业，如何在中长期保持年产值稳中有升，提高企业差异化竞争力，是荆...
刘川
关键词：建筑行业营销战略融资渠道
4G时代L公司营销渠道策略研究
4G时代，运营商传统的语音、短信业务进入平稳期甚至出现下滑，流量需求呈爆发式增长，4G无线网络、手机终端同质化严重，运营商后期最主要的营销手段就是营销渠道的争夺、开发与管理。L公司作为中国联通在武汉的分支机构，笔者希望通...
刘川
关键词：通信运营商营销渠道运营管理服务质量
微机电系统圆片级真空封装导线互连结构及其制造方法
微机电系统圆片级真空封装互连结构及其制造方法，属于微机电系统的导线互连结构及其制造方法，解决现有互连结构套刻精度要求较高、不能保证腐蚀深度一致性的问题，提高真空度保持性，并实现电信号连通。本发明的互连结构，硅基板上开有通...
汪学方张卓刘川甘志银张鸿海刘胜罗小兵
文献传递
基于热学理论的微型真空检测器件的研究被引量：3
2011年
介绍了一种基于热学知识设计的表面薄膜微型MEMS皮拉尼计，并将其用于圆片级真空封装腔体的真空度测量中。为了设计灵敏度较高的皮拉尼计，对不同结构的皮拉尼计的热量分布进行了数值计算与分析，并最终完成了加工。此皮拉尼计的结构和加工工艺比较简单，能用于一般的MEMS真空封装中。实验结果显示该皮拉尼计可以测量1-10^5Pa的真空度，并在1-1000Pa内有很好的线性度。
刘川汪学方罗小兵
关键词：MEMS
MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法
MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法，属于微机电系统的导线互连结构，解决键合过程中气密性问题，实现真空腔内外电信号的连通。本发明互连结构，在硅基板表面依次具有SiO<Sub>2</Sub>绝缘层和多个电极，各电...
汪学方刘川张卓罗小兵甘志银张鸿海刘胜
文献传递
一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片MEMS器件的位置刻蚀相应空...
汪学方黎藜张卓刘川甘志银张鸿海刘胜
文献传递
MEMS圆片级真空封装金硅键合工艺研究被引量：7
2011年
提出一种适用于微机电系统(MEMS)圆片级真空封装的键合结构,通过比较分析各种键合工艺的优缺点后,选择符合本试验要求的金硅键合工艺。根据所提出键合结构和金硅键合的特点设计键合工艺流程,在多次试验后优化工艺条件。在此工艺条件下,选用三组不同结构参数完成键合试验。之后对比不同的结构参数分别测试其键合质量(包括键合腔体泄漏率和键合强度的检测)。完成测试后对不同结构参数导致键合质量的差异做出定性分析,同时得到适用于MEMS圆片级真空封装的金硅键合结构和键合工艺。最后对试验做出总结和评价,并对试验中的不足之处提出后续改进建议。
张卓汪学方王宇哲刘川刘胜
关键词：MEMS真空封装圆片级
一种嵌入式CR辅助的NOMA资源调度方法、装置、系统及介质
本发明公开了一种嵌入式CR辅助的NOMA资源调度方法、装置、系统及介质，属于无线通信系统频谱资源调度技术领域，包括以下步骤：认知无线电网络中的次用户(SU)感知主用户(PU)的频谱状态，并向融合中心(FC)发起频谱接入请...
郑明明彭薇刘川
MEMS圆片级真空度检测器件的研究
很多具有重要应用背景的MEMS器件加工时都需要进行真空封装。但真空封装工艺、真空保持性、内部真空度测试等关键问题一直未得到真正的解决，特别是圆片级真空封装的真空度检测至今没有有效的检测方法。目前商用的真空规由于体积大，无...
刘川
关键词：微机电系统真空度测量薄膜电阻
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