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赵振宇
作品数:
5
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中北大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
山西省基础研究计划项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
刘俊
中北大学信息与通信工程学院仪器...
丑修建
中北大学信息与通信工程学院仪器...
卢荻
中北大学信息与通信工程学院仪器...
张文栋
中北大学
薛晨阳
中北大学
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基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件
本发明涉及微执行器驱动构件,具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题,步骤:①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶;②在支撑基底Pt金属层上...
张文栋
丑修建
熊继军
薛晨阳
刘俊
赵振宇
王静
牛康康
文献传递
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析
被引量:4
2010年
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变=ε0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用AN SY S11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率.从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义.
赵振宇
卢荻
丑修建
刘俊
关键词:
微悬臂梁
基于硅基反铁电厚膜场致应变效应的微驱动构件结构设计与制造
利用反铁电材料电场诱导反铁电-铁电(AFE-FE)相变的快速开关特性和大场致应变效应,实现反铁电功能材料与MEMS技术的集成,给快速响应、大行程微执行器的设计开发带来新的思路。 本文采用溶胶-凝胶(Sol-gel)工艺...
赵振宇
关键词:
有限元分析
文献传递
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变ε=0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用ANSYS11.0对基于反铁电薄膜应...
赵振宇
卢荻
丑修建
刘俊
关键词:
微悬臂梁
基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件
本发明涉及微执行器驱动构件,具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题,步骤:①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶;②在支撑基底Pt金属层上...
张文栋
丑修建
熊继军
薛晨阳
刘俊
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王静
牛康康
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