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卢荻

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室更多>>
发文基金：中国博士后科学基金山西省基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇微悬臂梁
  • 2篇硅基
  • 1篇PLZT

机构

  • 2篇中北大学

作者

  • 2篇丑修建
  • 2篇刘俊
  • 2篇赵振宇
  • 2篇卢荻

传媒

  • 1篇测试技术学报

年份

  • 2篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析被引量：4
2010年
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变=ε0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用AN SY S11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率.从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义.
赵振宇卢荻丑修建刘俊
关键词：微悬臂梁
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变ε=0.8％为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用ANSYS11.0对基于反铁电薄膜应...
赵振宇卢荻丑修建刘俊
关键词：微悬臂梁
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