丁维育
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 纯钛微细电解加工基础试验研究
- 钛及其合金在航空航天、医疗器械等领域有着广泛的应用,如航空金属滤网、航空发动机的阻尼衬套等微细结构,以及人造骨及关节、心脏血管支架等种植体。目前加工纯钛采用激光加工和掩膜微细电解的方法,激光加工可以得到三维的立体结构,但...
- 丁维育
- 关键词：微细电解加工纯钛有限元微细电极
- 半导体垂直通孔形成方法及装置
- 一种半导体垂直通孔形成方法及装置，属特种加工范畴，基于微细电加工原理，以微细群电极作为工具电极，半导体材料(通常为硅、锗、砷化镓、蓝宝石、碳化硅等，电阻率＜100Ω·cm薄片形状)作为工件，依次通过微细电火花放电、微细电...
- 汪炜刘正埙丁维育田宗军刘志东沈理达黄因慧
- 文献传递
- 硅阵列通孔微细电火花加工试验研究
- 孔技术是MEMS封装和垂直集成传感器阵列实现电气互联的重要途径之一,采用微细电火花的方法可实现硅通孔加工的深宽比,满足表面完整性要求.设计了具有单脉冲检测功能的微能脉冲电源,将厚180 μm、电阻率0.01Ω·...
- 丁维育汪炜刘正埙张伟陈建宁
- 关键词：ELECTRODEARRAYMICRO-EDMPULSEGENERATOR
- 半导体垂直通孔形成方法及装置
- 一种半导体垂直通孔形成方法及装置，属特种加工范畴，基于微细电加工原理，以微细群电极作为工具电极，半导体材料(通常为硅、锗、砷化镓、蓝宝石、碳化硅等，电阻率＜100Ω·cm薄片形状)作为工件，依次通过微细电火花放电、微细电...
- 汪炜刘正埙丁维育田宗军刘志东沈理达黄因慧
- 文献传递
- 硅阵列通孔微细电火花加工试验研究被引量：1
- 2009年
- 硅通孔技术是MEMS封装和垂直集成传感器阵列实现电气互联的重要途径之一,采用微细电火花的方法可实现硅通孔加工的高深宽比,并满足表面完整性要求。设计了具有单脉冲检测功能的微能脉冲电源,将厚180μm、电阻率0.01Ω.cm N型单晶硅工件倒置在数控微位移平台上,通过微细电火花的方法加工出边长约为200μm方形硅阵列通孔。该方法加工过程与材料晶向无关、热影响区小、加工精度高,可实现工件电极的微量蚀除和工具电极的少、无损耗,以达到硅通孔的高效、精密、微细和低成本加工。
- 丁维育汪炜刘正埙张伟陈建宁
- 关键词：阵列电极微细电火花
