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张玉龙

作品数：5 被引量：23H指数：3
供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇动力工程及工...
  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇微机电系统
  • 3篇微气泡
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 1篇电极
  • 1篇电极对
  • 1篇形貌分析
  • 1篇阵列
  • 1篇阵列误差
  • 1篇数值模拟
  • 1篇气泡
  • 1篇微通道
  • 1篇相变
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米电子
  • 1篇纳米电子学
  • 1篇矩形微通道
  • 1篇激光共焦扫描
  • 1篇激光共焦扫描...
  • 1篇共焦扫描

机构

  • 5篇厦门大学
  • 3篇西安交通大学
  • 1篇华侨大学
  • 1篇南京理工大学

作者

  • 5篇张玉龙
  • 3篇董涛
  • 3篇杨朝初
  • 2篇张艳
  • 2篇毕勤成
  • 2篇蒋书森
  • 1篇谷丹丹
  • 1篇黄彩虹
  • 1篇张春权
  • 1篇曾毅波

传媒

  • 2篇化工学报
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇中国工程热物...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2008
  • 2篇2007
  • 1篇2005
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种获得纳米间隙电极的接触光刻方法
2013年
提出一种称之为"阵列误差光刻"的方法。采用两次接触光刻和两次金属剥离工艺,形成两组顶端相对的电极阵列,利用第二次接触光刻时的对准误差,在这两组电极之间按照概率分布形成了一个最小的纳米间隙。设计并制作了一种含有16对电极的验证器件,按照光刻对准误差的范围为±2.0μm进行估算,理论上最小间隙的分布范围为0～150 nm。通过扫描电镜测量实际制造的样品,获得了大量50 nm以下的电极对,最小间隙为16.6 nm,并且制备的电极层厚度可以达到200 nm,使串联电阻较小。这种纳米间隙电极的制备方法简单有效。
张玉龙张艳蒋书森
关键词：电极对纳米电子学
MEMS器件中微气泡控制生长研究进展
半导体技术和微加工工艺的进步,促进了MEMS微流体器件的发展.本文研究MEMS器件中微热气泡的生长,可揭示微小空间尺度相变机理.本文综述了国内外微热气泡生长理论模型和微热气泡生长实验的研究进展,分析研究现状特点和存在的问...
董涛杨朝初张玉龙
关键词：成核相变传热
文献传递
微小有限空间内微气泡控制生长的界面追踪与数值模拟被引量：4
2007年
通过对微机电系统微流体器件中气泡生长实验结果的分析,考虑加热元表面液体微层的作用,将微气泡生长分为晶核形成、球形气泡、受侧壁挤压的气泡、沿微通道生长的气泡4个阶段,建立了矩形微通道内微气泡控制生长物理模型;采用Level Set Method模拟了矩形微通道内微气泡控制生长过程,获得了微气泡生长特性。数值模拟结果表明:微气泡初期生长速率较快,后期由于凝结率增大使生长速率减缓;液体温度、微通道宽度、微加热元宽度、加热电压等均对气泡生长始点和生长速率有显著影响。
杨朝初董涛毕勤成张玉龙
关键词：微机电系统LEVELSET
微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长被引量：4
2007年
采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明:同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低。相同实验条件下,R113、FC-72、去离子水三者中,R113中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快,去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢。
董涛杨朝初毕勤成张玉龙谷丹丹张春权
关键词：微机电系统矩形微通道
激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用被引量：15
2008年
研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平。
曾毅波蒋书森黄彩虹张玉龙张艳
关键词：激光共焦扫描显微镜微机电系统形貌分析
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