周倩
- 作品数：8 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信交通运输工程更多>>
- 石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量：8
- 2013年
- 石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结构末端设计圆弧台阶结构,降低了该部位在高冲击环境下受到的最大应力,提高了敏感芯片的抗冲击性能。通过综合优化后,石英微机械陀螺的抗高冲击能力可达到10 000g,并保持了较好的性能。
- 林日乐李文蕴赵建华周倩满欣谢佳维
- 关键词：石英微机械陀螺
- 闭环控制式加速度计
- 本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
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- 文献传递
- 石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析被引量：1
- 2013年
- 石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了其失效模式。试验结果验证了分析的准确性,分析结果可作为改进敏感器件可靠性的依据。
- 林日乐赵建华林珂满欣李文蕴周倩翁邦英
- 关键词：石英微机械陀螺可靠性
- 石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法
- 本发明涉及一种石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法，它是将光刻后的石英晶体放入腐蚀液中，在60℃-95℃温度条件下对石英晶体进行化学刻蚀，刻蚀时间为10-20小时；腐蚀液由水、氢氟酸和氟化铵混合而成，水、氢氟酸和氟化...
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- 文献传递
- 石英MEMS陀螺
- 石英微机电系统（MEMS）陀螺是一种微型惯性器件。介绍了石英MEMS陀螺的工作原理及敏感芯片的几种典型结构形式,石英MEMS陀螺敏感芯片一般采用一体式音叉结构,有多种结构形式,不同的芯片结构形式性能指标和体积不同,可应用...
- 林日乐满欣周倩李文蕴谢佳维张巧云
- 关键词：石英陀螺音叉
- 文献传递
- 高灵敏度QVBA限位结构设计研究被引量：2
- 2014年
- 石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能,又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能,降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件,有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案,并加工出了差分结构的加速度计样机,经测试其灵敏度为65.74Hz/g,10min零位稳定性为15.8μg。
- 林丙涛周倩曾小珊唐光庆满欣周本清李海
- 关键词：灵敏度差分阻尼
- 一种石英敏感芯片
- 一种石英敏感芯片，包括本体，在该本体上设置有开槽，该开槽的末端具有拐角结构，其特征在于，所述拐角结构和本体表面之间形成有一台阶，该台阶和本体表面之间的壁面为圆弧面，台阶和圆弧面通过腐蚀加工而成。圆弧面能均衡结构中的应力分...
- 林日乐李文蕴张巧云翁邦英周倩
- 文献传递
- ST-石英的湿法腐蚀工艺研究被引量：2
- 2014年
- 对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究,并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体,掩蔽膜材料为Cr/Au双层金属膜,腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液;主要研究了基片清洗、腐蚀液成分配比及腐蚀温度等工艺参数对基片表面腐蚀质量的影响,并通过选择最佳的试验参数,以约0.7μm/min的适中腐蚀速率加工出了满足要求的晶体表面。
- 林丙涛唐光庆周倩张巧云翁邦英班亚娟
- 关键词：湿法腐蚀
