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申喻

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇激光
  • 1篇激光测量
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇工件台
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇干涉仪
  • 1篇超精
  • 1篇超精密

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇周云飞
  • 1篇于宝成
  • 1篇申喻

传媒

  • 1篇机床与液压

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
超精密工件台多维激光测量系统研究被引量：4
2006年
在分析超精密工件台运动特点的基础上,提出了一种基于多轴双频激光干涉仪的激光测量系统,搭建测量系统平台并建立了测量模型;这种测量系统运用在纳米级定位系统中,可以实现高分辨率低误差的位置测量,为工件台多自由度、大行程、高速高精的纳米级运动控制提供了重要保障。
周云飞申喻于宝成
关键词：超精密工件台激光干涉仪
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