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吴晓娴

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：同济大学波耳固体物理研究所更多>>
发文基金：上海市科委科技攻关项目上海市教育委员会重点学科基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇损伤阈值
  • 1篇紫外
  • 1篇紫外辐照
  • 1篇阈值研究
  • 1篇化学法制备
  • 1篇激光
  • 1篇激光损伤
  • 1篇激光损伤阈值
  • 1篇辐照
  • 1篇HFO2薄膜

机构

  • 1篇同济大学

作者

  • 1篇林雪晶
  • 1篇谢志勇
  • 1篇刘春泽
  • 1篇罗爱云
  • 1篇沈军
  • 1篇吴广明
  • 1篇吴晓娴

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学法制备的HfO_2薄膜的激光损伤阈值研究被引量：6
2007年
采用化学法制备了HfO2介质膜,研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响。采用红外光谱(FTIR)和X射线衍射仪对薄膜进行了表征,并用输出波长为1.064μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明:采用150℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值,所获得的薄膜的激光损伤阈值高达42.32 J/cm2,比热处理前的激光损伤阈值提高了82%;无机材料Al2O3的适量添加能够提高薄膜的激光损伤阈值,其中HfO2与Al2O3的最佳质量配比约为95∶5;另外,对薄膜进行适当的紫外辐照也可改善HfO2薄膜以及HfO2-Al2O3复合薄膜的抗激光损伤性能。紫外辐照对提高HfO2-Al2O3复合薄膜的激光损伤阈值效果尤为显著,辐照40 min后的激光损伤阈值达到44.33 J/cm2,比紫外辐照前的激光损伤阈值提高了90%。
沈军罗爱云吴广明林雪晶谢志勇吴晓娴刘春泽
关键词：HFO2薄膜紫外辐照激光损伤阈值
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