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陆柳

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：郑州大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇氧化钛
  • 2篇原子
  • 2篇原子数
  • 2篇透明导电
  • 2篇透明导电膜
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射靶材
  • 2篇溅射沉积
  • 2篇二氧化钛
  • 2篇靶材

机构

  • 2篇郑州大学

作者

  • 2篇邵国胜
  • 2篇胡俊华
  • 2篇宋安刚
  • 2篇陆柳
  • 2篇郭美澜

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法及铌掺杂二氧化钛透明导电膜
本发明公开了一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法及铌掺杂二氧化钛透明导电膜，该制备方法包括1)以氩气为等离子体气源，氧气为反应气体，采用远源等离子体溅射技术在衬底上溅射沉积薄膜得半成品；溅射靶材中Nb的原子数为Nb、T...
邵国胜胡俊华陆柳宋安刚郭美澜付振亚
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一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法及铌掺杂二氧化钛透明导电膜
本发明公开了一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法及铌掺杂二氧化钛透明导电膜，该制备方法包括1)以氩气为等离子体气源，氧气为反应气体，采用远源等离子体溅射技术在衬底上溅射沉积薄膜得半成品；溅射靶材中Nb的原子数为Nb、T...
邵国胜胡俊华陆柳宋安刚郭美澜付振亚
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