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谢为
作品数:
4
被引量:10
H指数:1
供职机构:
大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
胡远荣
大连理工大学材料科学与工程学院...
王丽阁
大连理工大学材料科学与工程学院...
李国卿
大连理工大学材料科学与工程学院...
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中频孪生磁控溅射非晶WO3电致变色薄膜
采用中频孪生非平衡磁控溅射技术制备非晶、WO薄膜。X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外分光光度计等测试手段分析薄膜的结构、表面形貌、成分以及透射光谱特性。研究了氧分压及热处理温度对薄膜电致变色性能的影响。...
王丽阁
胡远荣
李国卿
谢为
关键词:
电致变色
WO3薄膜
磁控溅射
非晶
文献传递
中频孪生磁控溅射WO_3薄膜及变色性能研究
被引量:10
2006年
采用先进的中频孪生非平衡磁控溅射技术,以金属钨为靶材,制备非晶态WO3电致变色薄膜。用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、紫外分光光度计等测试手段分析薄膜的结构、表面形貌、成分以及透射光谱特性。研究了氧气流量比及热处理温度对WO3薄膜变色性能的影响。结果表明,中频孪生非平衡磁控溅射技术是制备WO3变色薄膜的一种有效方法;室温条件下沉积获得的原始态薄膜为非晶态WO3;提高氧气流量比和适当热处理温度能有效改善薄膜的电致变色性能。实验中在较高氧气流量比,200℃热处理条件下制备的薄膜在380-780nm的可见光范围内着色态和褪色态平均透光率差值高达50%以上,表现出较好的电致变色性能。
王丽阁
胡远荣
李国卿
谢为
关键词:
薄膜光学
电致变色
WO3薄膜
磁控溅射
非晶
氧流量和钛掺杂对WO3电致变色性能的影响
2006年
采用中频孪生磁控溅射技术制备非晶WO3薄膜.拉曼光谱、X射线衍射(XRD)、紫外分光光度计、计时安培分析仪等测试手段分析薄膜的结构、吸收光谱、透射光谱及响应时间.研究了氧流量和钛掺杂对薄膜电致变色性能的影响.结果表明:原始非晶态WO3薄膜在较高O2流量比份(> 95%)条件沉积时,表现出更好的变色性能,对于500 nm~800 nm可见光范围,薄膜的透光率差值大于60%.钛掺杂后吸收光谱向短波方向移动,且掺杂5%后,近紫外线区域吸收率明显提高.掺杂5%,10%后响应速度提高了1倍,但着色效率降低.
胡远荣
王丽阁
李国卿
谢为
关键词:
WO3薄膜
电致变色
磁控溅射
非晶
氧流量和钛掺杂对WO3电致变色性能的影响
采用中频孪生磁控溅射技术制备非晶WO3薄膜。拉曼光谱、X射线衍射(XRD)、紫外分光光度计、计时安培分析仪等测试手段分析薄膜的结构、吸收光谱、透射光谱及响应时间。研究了氧流量和钛掺杂对薄膜电致变色性能的影响。结果表明:原...
胡远荣
王丽阁
李国卿
谢为
关键词:
WO3薄膜
电致变色
磁控溅射
非晶
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