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于骁

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇动力学
  • 1篇动力学方法
  • 1篇刻蚀

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇李伟华
  • 1篇周再发
  • 1篇黄庆安
  • 1篇于骁

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体刻蚀工艺模型研究进展被引量：3
2015年
综述了等离子体刻蚀模型的研究进展,包括粒子方法模型和动力学模型的现状与进展。粒子方法模型主要介绍蒙特卡洛模型和结合蒙特卡洛模型的混合模型,动力学模型主要介绍反应位点模型、分子动力学模型和混合层动力学模型。在每种模型中,讨论了该模型的优缺点及应用范围。在此基础上,总结了过去刻蚀模型的发展历程,展望了等离子刻蚀模型的发展前景,对进行等离子刻蚀的建模分析具有参考意义。
于骁周再发李伟华黄庆安
关键词：等离子体刻蚀动力学方法
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共1页<1>
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