李健
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：苏州大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 高速精密定位平台振动误差补偿
- 搭建了宏微结合精密定位系统以便减小定位平台在Z方向的振动误差,实现高精度定位。该系统由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,由安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台对系统进行Z方...
- 刘吉柱张雯雯李健陈立国
- 关键词：压电陶瓷误差补偿
- 文献传递
- 高速精密定位平台振动误差补偿
- 搭建了宏微结合精密定位系统以便减小定位平台在Z方向的振动误差,实现高精度定位.该系统由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,由安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台对系统进行Z方...
- 刘吉柱张雯雯李健陈立国
- 文献传递
- 大行程精密定位平台偏摆误差的补偿方法被引量：1
- 2017年
- 精密定位平台在导轨动连接处刚度较差,在高速高动态工作中这里易产生偏摆振动。为了减小偏摆误差对定位平台的影响,提高定位精度,通过对直线电机驱动、气浮导轨支撑和导向的高精度定位平台进行研究。根据定位平台偏摆误差的动态特性,采用偏摆误差补偿方法,设计一种偏摆误差检测系统,采用平尺和微位移传感器相结,具有高频响、非接触式的特点。设计了一种基于压电陶瓷驱动的x,y两维微位移补偿机构。同时,通过将气浮导轨滑块副简化成弹簧、质量和阻尼相结合的系统,推导出了定位平台两自由度的偏摆振动模型。基于误差补偿系统的偏摆误差补偿实验表明,精密定位平台的定位精度得到了较大提高,定位平台的定位精度优于2μm。
- 刘吉柱李健张雯雯王阳俊潘明强陈立国
- 关键词：压电陶瓷误差补偿
- 应用于IC制造领域的磁悬浮定位平台综述被引量：2
- 2017年
- 磁悬浮技术由于无摩擦、无磨损、无污染、具有高加速度和高速度等突出优点,在当前IC等制造领域具有广阔的应用前景,尤其适用于高真空、高洁净工作环境,新型磁悬浮定位技术成为国内外竞相研究热点。磁悬浮定位平台是一个非线性、多变量、强耦合的控制系统,为了实现控制系统的完全解耦,提高平台的定位精度,在结构、解耦方法和控制方法上,总结了国内外研究学者所做的大量研究,指出磁悬浮定位平台亟需解决的关键核心技术,优化磁悬浮定位平台性能,为IC制造领域的迅速发展提供可借鉴的研究方向。
- 张雯雯张新兰魏颖婕李健刘吉柱
- 关键词：磁悬浮解耦控制方法
