张新兰
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国航天科技集团公司更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 应用于IC制造领域的磁悬浮定位平台综述被引量：2
- 2017年
- 磁悬浮技术由于无摩擦、无磨损、无污染、具有高加速度和高速度等突出优点,在当前IC等制造领域具有广阔的应用前景,尤其适用于高真空、高洁净工作环境,新型磁悬浮定位技术成为国内外竞相研究热点。磁悬浮定位平台是一个非线性、多变量、强耦合的控制系统,为了实现控制系统的完全解耦,提高平台的定位精度,在结构、解耦方法和控制方法上,总结了国内外研究学者所做的大量研究,指出磁悬浮定位平台亟需解决的关键核心技术,优化磁悬浮定位平台性能,为IC制造领域的迅速发展提供可借鉴的研究方向。
- 张雯雯张新兰魏颖婕李健刘吉柱
- 关键词：磁悬浮解耦控制方法
