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单尧
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6
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
胡国行
中国科学院上海光学精密机械研究...
贺洪波
中国科学院上海光学精密机械研究...
赵元安
中国科学院上海光学精密机械研究...
罗阳
中国科学院上海光学精密机械研究...
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
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机械工程
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5篇
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5篇
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光学常数
4篇
表面等离子体...
3篇
超薄薄膜
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2篇
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生化物质
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椭偏仪
2篇
金属膜
2篇
表面等离子体
2篇
玻璃基
2篇
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1篇
信号
1篇
信号测量
1篇
偏角
1篇
强激光
1篇
最优解
机构
6篇
中国科学院上...
作者
6篇
胡国行
6篇
单尧
5篇
赵元安
5篇
贺洪波
3篇
邵建达
3篇
曾爱军
3篇
罗阳
1篇
曹珍
年份
1篇
2021
3篇
2018
2篇
2017
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椭偏仪测量超薄膜层的精度提升方法和装置
一种提升椭偏仪测量超薄膜层精度的装置,包括直角三棱镜、平凸球面透镜、超薄膜层和玻璃基底。通过在椭偏仪中引入Otto结构激发表面等离子体共振,利用微米尺度光束测试分析椭偏参数随入射波长、入射角度、空气隙厚度的变化曲线,拟合...
胡国行
单尧
贺洪波
赵元安
谷利元
曾爱军
文献传递
基于表面等离子体共振的金属膜测量装置及测量方法
一种基于表面等离子体共振的金属膜测量装置,包括等腰直角三棱镜,在所述的等腰直角三棱镜的底面依次镀有亚微米量级厚度的介质膜和待测金属膜层,并浸入在溶液中。转动椭偏仪的发射臂角度,使等腰直角三棱镜与介质膜界面处的入射光角度大...
胡国行
单尧
罗阳
贺洪波
赵元安
邵建达
超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法
一种超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法,本发明通过采集不同起偏角和不同检偏角下的等离子体共振图像,分析得出等离子体共振诱导的椭偏参数曲线,拟合椭偏参数曲线,将最优解作为测量结果,得到超薄薄膜的厚度和光学常数。本发...
胡国行
单尧
谷利元
贺洪波
曾爱军
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椭偏仪测量超薄膜层的精度提升方法和装置
一种提升椭偏仪测量超薄膜层精度的装置,包括直角三棱镜、平凸球面透镜、超薄膜层和玻璃基底。通过在椭偏仪中引入Otto结构激发表面等离子体共振,利用微米尺度光束测试分析椭偏参数随入射波长、入射角度、空气隙厚度的变化曲线,拟合...
胡国行
单尧
贺洪波
赵元安
谷利元
曾爱军
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脉冲强激光诱导光致发光谱的测量装置及测量方法
一种脉冲强激光诱导光致发光谱的测量装置及测量方法,应用高功率脉冲强激光以一定频率连续辐照光学元件材料内部,待测元件采用正侧面抛光,并在其侧面放置光纤探头和光谱仪以测量其散射信号,有效地减少了表面散射信号对结果的影响。采用...
胡国行
罗阳
赵元安
曹珍
单尧
王尧
邵建达
文献传递
基于表面等离子体共振的金属膜测量装置及测量方法
一种基于表面等离子体共振的金属膜测量装置,包括等腰直角三棱镜,在所述的等腰直角三棱镜的底面依次镀有亚微米量级厚度的介质膜和待测金属膜层,并浸入在溶液中。转动椭偏仪的发射臂角度,使等腰直角三棱镜与介质膜界面处的入射光角度大...
胡国行
单尧
罗阳
贺洪波
赵元安
邵建达
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