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刘明哲
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
吉林省科技发展计划基金
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
邓高强
吉林大学电子科学与工程学院集成...
张宝林
吉林大学电子科学与工程学院集成...
李鹏翀
吉林大学电子科学与工程学院集成...
张源涛
吉林大学电子科学与工程学院集成...
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年份
1篇
2017
共
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6H-SiC衬底上AlGaN基垂直结构紫外LED的制备
被引量:3
2017年
利用金属有机物化学气相沉积方法,在n型6H-SiC衬底上制备了15对Si掺杂Al_(0.19)Ga_(0.81)N/Al_(0.37)Ga_(0.63)N DBR,并采用低温AlN缓冲层有效抑制了DBR结构中裂纹的产生,得到了表面均方根粗糙度仅为0.4 nm且导电性能良好的n型DBR,其在369 nm处峰值反射率为68%,阻带宽度为10 nm。在获得导电DBR的基础上,进一步在n型6H-SiC衬底上构建了有、无DBR的垂直结构紫外LED。对比两者电致发光光谱,发现DBR结构的引入有效增强了LED紫外发光强度。
刘明哲
李鹏翀
邓高强
张源涛
张宝林
关键词:
ALGAN
紫外发光二极管
金属有机物化学气相沉积
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