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刘明哲

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
发文基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”吉林省科技发展计划基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇紫外发光二极...
  • 1篇金属有机物
  • 1篇金属有机物化...
  • 1篇二极管
  • 1篇发光
  • 1篇发光二极管
  • 1篇ALGAN

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇张源涛
  • 1篇李鹏翀
  • 1篇张宝林
  • 1篇邓高强
  • 1篇刘明哲

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2017
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
6H-SiC衬底上AlGaN基垂直结构紫外LED的制备被引量:3
2017年
利用金属有机物化学气相沉积方法,在n型6H-SiC衬底上制备了15对Si掺杂Al_(0.19)Ga_(0.81)N/Al_(0.37)Ga_(0.63)N DBR,并采用低温AlN缓冲层有效抑制了DBR结构中裂纹的产生,得到了表面均方根粗糙度仅为0.4 nm且导电性能良好的n型DBR,其在369 nm处峰值反射率为68%,阻带宽度为10 nm。在获得导电DBR的基础上,进一步在n型6H-SiC衬底上构建了有、无DBR的垂直结构紫外LED。对比两者电致发光光谱,发现DBR结构的引入有效增强了LED紫外发光强度。
刘明哲李鹏翀邓高强张源涛张宝林
关键词:ALGAN紫外发光二极管金属有机物化学气相沉积
共1页<1>
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