冯小利
- 作品数：2 被引量：23H指数：2
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：西安市科技创新支撑计划基金陕西省科学技术研究发展计划项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 多层薄膜光学常数的椭偏法研究被引量：16
- 2009年
- 研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程,并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析,建立了substrate/film1/EMA/film2/srough的物理结构模型。采用椭偏法,在首先确定出基底光学常数的基础上,提出了从单层、双层、三层逐次建模拟和的分析方法。研究结果表明:对于透明或弱吸收光学薄膜,采用柯西公式可以较好表征材料的色散关系。椭偏分析最终得到的未知薄膜基本结构为G(1.52)/2.0312(203.0nm)1.4636(170.1nm)2.0791(170.4nm)/A,膜系设计及分光光度计测量的透射光谱证实了这一结果。对多层膜厚度和光学常数的分析表明,椭偏法仍然是一种行之有效的薄膜光学常数测量方法。
- 徐均琪冯小利
- 关键词：厚度光学常数椭偏测量
- 外场多光轴平行性测试的光学系统设计被引量：7
- 2011年
- 针对外场条件下因大气环境影响导致多光轴平行性误差的问题,设计了一种可见光、1.06μm激光及8～12μm的长波红外多光轴平行性测试的光学系统,系统采用卡塞格林系统为共光路并以可见光为基准光轴。卡塞格林系统的主次镜均采用双曲面校正球差及慧差,添加校正透镜减小了轴外像差。设计结果表明,该光学系统成像质量达到了衍射极限,在大气环境中的光学性能满足要求,保证了外场多光轴平行性测试。
- 高明冯小利赵文才
- 关键词：光学设计
