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陈雪

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微光学
  • 1篇微型化
  • 1篇基板
  • 1篇夹持
  • 1篇光学
  • 1篇硅基

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇杨富华
  • 1篇刘媛媛
  • 1篇陈雪

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基微光学平台的设计和制作
2016年
微型的、可重复装配的、硅基的微光学实验平台和操作平台对于实现光学分析仪器的微型化具有重要的研究意义。设计制作了一种硅基的微光学平台,它包含有微光学基板和微光学夹持片。首先采用有限元分析软件Comsol对微光学夹持片的关键结构即弹片进行了应力仿真,确定了弹片在被拉伸过程中断裂时的最大位移,而后在此基础上设计了一种微光学基板和几种微光学夹持片。实验中采用微电子的工艺,通过配合使用电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀和各向异性湿法腐蚀工艺制备了微光学基板和微光学夹持片的样品。最后将二者装配在一起,从而建立起一个硅基的微光学平台。并且,夹持片可以在基板上实现滑动和重复装配。
柳瑞丛刘媛媛陈雪杨富华
关键词：硅基微型化
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