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陈征
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1
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供职机构:
中国科学技术大学化学与材料科学学院材料科学与工程系
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发文基金:
中国科学院知识创新工程
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相关领域:
理学
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合作作者
王建文
中国科学技术大学化学与材料科学...
李赟
中国科学技术大学化学与材料科学...
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中国科学技术大学化学与材料科学...
何海平
中国科学技术大学化学与材料科学...
邹优鸣
中国科学技术大学化学与材料科学...
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王建文
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2006
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低压Ar气氛下用PS/OCS/Si(111)叠层热解制备单晶4H-SiC薄膜及层错缺陷抑制机理
2006年
在一定压力的Ar气氛中对S i(111)衬底上的PS/OCS(硅的有机化合物)凝胶叠层进行热处理,制备出单晶4H-S iC薄膜。用XPS、XRD、TEM、TED和SEM研究了热处理温度和压力对薄膜结晶质量和晶型的影响。XPS分析显示薄膜中C/S i比为1.09。SEM分析表明薄膜的表面平整,S iC/S i(111)界面清晰、无层错缺陷形成。进一步讨论了层错缺陷形成及抑制的机理。
王玉霞
李赟
陈征
何海平
王建文
邹优鸣
关键词:
溶胶-凝胶
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