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刘秋慧

作品数：21 被引量：10H指数：1
供职机构：中北大学更多>>
相关领域：电气工程电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电气工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程

主题

  • 17篇微波传输线
  • 17篇传输线
  • 15篇电极
  • 15篇射频MEMS...
  • 15篇开关
  • 15篇空气桥
  • 10篇触点
  • 8篇单触点
  • 6篇双触点
  • 3篇电极结构
  • 3篇信号
  • 3篇信号线
  • 3篇十字型
  • 2篇带通
  • 2篇带通滤波
  • 2篇带通滤波器
  • 2篇单刀单掷开关
  • 2篇单刀双掷
  • 2篇单刀双掷开关
  • 2篇单片

机构

  • 21篇中北大学

作者

  • 21篇刘秋慧
  • 20篇李孟委
  • 14篇张一飞
  • 12篇吴倩楠
  • 11篇王莉
  • 7篇王楠
  • 3篇王威
  • 2篇王代华

年份

  • 1篇2022
  • 2篇2020
  • 4篇2019
  • 8篇2018
  • 6篇2017
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
面向5G通信应用的射频MEMS开关设计与制造关键技术研究
射频MEMS开关作为微机电系统中可控制信号导通与断开的关键电子元器件，因其小尺寸、低成本及高可靠性等特点可广泛应用于各种射频、微波和毫米波通讯系统中。论文提出一种直板型射频MEMS开关，通过器件的结构设计、仿真优化、工艺...
刘秋慧
关键词：移动通信射频开关微机电系统工艺参数
一种直板型实用化射频MEMS开关
一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极...
李孟委刘秋慧张一飞吴倩楠王莉
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一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关
一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关，包括：衬底；微波传输线和驱动电极，微波传输线包括信号线和地线，微波传输线中部设有断口，驱动电极设置在断口处；设置在微波传输线上的上电极、下电极组件和空气桥，上电极一端与一侧的...
吴倩楠刘秋慧李孟委
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一种基于射频MEMS开关的可调滤波器
本发明属于电子元器件技术领域，具体涉及一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波...
吴倩楠李孟委刘秋慧郭欣榕
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一种直板型实用化射频MEMS开关
一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极...
李孟委吴倩楠刘秋慧张一飞王莉
一种基于稳定平台的多功能家庭实验平台益智玩具
本实用新型涉及自动化和仪器仪表技术领域，具体涉及一种基于稳定平台的多功能家庭实验平台益智玩具。所述益智玩具包括可实现稳定功能或三轴转动功能的内框平台；设置在所述内框平台上、并测量内框平台姿态信息的惯组模块；连接内框平台，...
李孟委刘秋慧
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一种实用化射频MEMS开关的制造方法
本发明涉及MEMS器件制造领域，特别涉及实用化射频MEMS开关的制造方法。主要包括硅片清洗、高阻硅片表面氮化硅的生长、共面波导电镀、上电极极板电镀、铝制下拉电极的制作、牺牲层释放。采用本发明的技术方案制造的射频MEMS开...
李孟委张一飞刘秋慧王俊强王楠王莉
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一种十字型单刀三掷开关
一种十字型的单刀三掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为T型直板型结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可...
李孟委王楠刘秋慧张一飞王威
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一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关
一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关，包括：衬底；微波传输线和驱动电极，微波传输线包括信号线和地线，微波传输线中部设有断口，驱动电极设置在断口处；设置在微波传输线上的上电极、下电极组件和空气桥，上电极一端与一侧的...
吴倩楠刘秋慧李孟委
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一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关
一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关，包括：衬底；微波传输线和驱动电极，微波传输线包括信号线和地线，微波传输线中部设有断口，驱动电极设置在断口处；设置在微波传输线上的上电极、下电极组件和空气桥，上电极一端与一侧的...
吴倩楠刘秋慧李孟委
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