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任剑
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
北京有色金属研究总院
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相关领域:
化学工程
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合作作者
毛威
北京有色金属研究总院
袁琴
北京有色金属研究总院
莫杰
北京有色金属研究总院
王铁艳
北京有色金属研究总院
苏小平
北京有色金属研究总院
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毛威
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1篇
2010
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光化法去除四氯化硅中三氯氢硅的实验研究
被引量:5
2010年
以市售粗四氯化硅为原料,对光化法去除四氯化硅中常见的三氯氢硅杂质进行了研究。分析了以波长为330~380 nm的紫外线为光源,进行三氯氢硅的光化反应过程中,影响光化效果的主要因素及其相互之间的关系。研究表明:光化时间随着原料量的增加而增加;光化时间随着光照强度的减少而增加;氯气与三氯氢硅物质的量比至少大于22∶1;氯气与三氯氢硅物质的量比存在临界值,小于此值时光化时间随氯气与三氯氢硅物质的量比的增大而减少,大于此值时光化时间反而有所增加,光照强度越大此值越小。
毛威
苏小平
王铁艳
袁琴
莫杰
任剑
关键词:
四氯化硅
三氯氢硅
光化反应
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