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谢琪
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
赵科新
中国科学院半导体研究所
雷震霖
中国科学院半导体研究所
成步文
中国科学院半导体研究所
王启明
中国科学院半导体研究所
于卓
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1999
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国产UHV/CVD系统及其生长SiGe/Si特性研究
余金中
于卓
成步文
李代宗
王启明
谢琪
雷震霖
赵科新
关键词:
UHV/CVD
SIGE/SI
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