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谢琪

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

主题

  • 1篇SIGE/S...
  • 1篇UHV/CV...

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇李代宗
  • 1篇余金中
  • 1篇于卓
  • 1篇王启明
  • 1篇成步文
  • 1篇雷震霖
  • 1篇谢琪
  • 1篇赵科新

传媒

  • 1篇第五届全国分...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
国产UHV/CVD系统及其生长SiGe/Si特性研究
余金中于卓成步文李代宗王启明谢琪雷震霖赵科新
关键词：UHV/CVDSIGE/SI
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共1页<1>
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