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文献类型

  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇原子尺度
  • 1篇制膜
  • 1篇激光分子束外...
  • 1篇分子束
  • 1篇分子束外延
  • 1篇SIGE/S...
  • 1篇UHV/CV...

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇赵科新
  • 1篇吕惠宾
  • 1篇李代宗
  • 1篇余金中
  • 1篇袁懋森
  • 1篇于卓
  • 1篇翟光杰
  • 1篇冯稷
  • 1篇杨国桢
  • 1篇陈正豪
  • 1篇赵崇良
  • 1篇程波林
  • 1篇王启明
  • 1篇缪风英
  • 1篇李重茂
  • 1篇王逶迤
  • 1篇何萌
  • 1篇成步文
  • 1篇金奎娟
  • 1篇周岳亮

传媒

  • 1篇第五届全国分...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇1999
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
国产UHV/CVD系统及其生长SiGe/Si特性研究
余金中于卓成步文李代宗王启明谢琪雷震霖赵科新
关键词:UHV/CVDSIGE/SI
Ⅱ型激光分子束外延设备及其应用研究
吕惠宾陈正豪杨国桢缪风英周岳亮翟光杰何萌袁懋森金奎娟程波林赵科新赵崇良李重茂王逶迤冯稷
激光分子束外延是二十世纪九十年代才出现的一种新型高精密制膜技术,是探索开发新材料、新器件和进行相关基础研究的一个平台。由物理所牵头与沈阳科仪中心合作,研制成功的我国第一台激光分子束外延设备和关键技术研究获1999年国家科...
关键词:
关键词:激光分子束外延原子尺度
共1页<1>
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