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孙慧明

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：江苏省“青蓝工程”基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇亚胺
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS工艺
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇张筱朵
  • 1篇秦明
  • 1篇黄庆安
  • 1篇吴剑
  • 1篇孙慧明

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作被引量：10
2008年
提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀,导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的。为了确定传感器结构、优化尺寸,采用ANSYS软件进行了模拟计算、设计了MEMS湿度传感器的制造工艺,对制作的微湿度传感器进行了测试,其灵敏度为0.21 mV%RH,最大湿滞为8%RH。
孙慧明张筱朵吴剑秦明黄庆安
关键词：MEMS湿度传感器压阻聚酰亚胺
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共1页<1>
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