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郑海川

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：苏州科技学院数理学院物理系更多>>
发文基金：江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇光刻
  • 1篇红外

机构

  • 1篇苏州科技学院

作者

  • 1篇李建康
  • 1篇李杨
  • 1篇叶成根
  • 1篇张拓
  • 1篇郑海川

传媒

  • 1篇红外

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
红外热释电薄膜探测器敏感元的研究
2009年
红外探测器不论是在军事还是在民用方面都有非常重要的应用。非致冷热释电红外探测器由于具有光谱响应宽、无需致冷等显著优点,近年来成为红外成像领域的研究热点,其结构中最关键的部分是敏感元。本文采用半导体光刻工艺和化学腐蚀的方法成功地对钛酸铅(PT)铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化。
李杨张拓郑海川叶成根李建康
关键词：光刻红外
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共1页<1>
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