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阎兰琴
作品数:
1
被引量:12
H指数:1
供职机构:
北京航空航天大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
金飞
北京航空航天大学
张维佳
北京航空航天大学
崔敏
北京航空航天大学
王天民
北京航空航天大学
丁照崇
北京航空航天大学
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2006
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高密度高导电性ITO靶研制
被引量:12
2006年
采用化学共沉淀法掺金属Nb,Ta和P到ITO材料中可使ITO(Indium Tin Oxide)靶相对密度达到97%~99%,并且靶电阻率小于3.0×10^-4Ω·cm,其质量损失率小于4.0%.采用直接掺杂法将TiO2纳米粉末掺入到纳米ITO粉末中可使ITO靶相对密度达到95%以上.当烧结温度为1500℃时,掺Nb,Ta,P的ITO靶电阻率稍小于纯ITO靶的电阻率.
张维佳
王天民
崔敏
金飞
丁照崇
阎兰琴
关键词:
ITO
烧结剂
掺杂
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