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梁得春

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:曲阜师范大学物理工程学院更多>>
发文基金:山东省自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电学
  • 1篇电学性质
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇射线衍射
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇ZAO薄膜

机构

  • 1篇曲阜师范大学

作者

  • 1篇李清山
  • 1篇孙方华
  • 1篇宗垒
  • 1篇梁得春

传媒

  • 1篇物理实验

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
热处理方式对ZAO薄膜结构以及电学性质的影响被引量:3
2008年
采用溶胶-凝胶旋转涂敷方法在普通玻璃衬底上生长ZAO薄膜.每涂敷1层薄膜,都要在一定的温度下对薄膜进行1次热处理,连续涂敷7层,最后再对部分薄膜在600℃的马弗炉中退火2 h.采用X射线衍射和薄膜电阻率分别来表征涂敷薄膜的结构特征和电学特性.实验结果表明:每次涂敷薄膜后所设定温度的大小以及最后是否再对薄膜进行退火处理直接影响着制备薄膜的结构特征和电学性质.
孙方华李清山梁得春宗垒
关键词:ZAO薄膜溶胶-凝胶X射线衍射
共1页<1>
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