范燕
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国石油大学（北京）化学化工学院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
- 纳米颗粒的粒径测量方法被引量：4
- 2016年
- 为了实现扫描电子显微镜(SEM)对纳米颗粒粒径的准确测量,研究了一种SEM放大倍数校准和光栅间距测量的方法;在SEM的不同放大倍数下对光栅纳米结构样板成像,运用MATLAB软件对显微镜图像进行灰度处理并读取灰度图像的亮度值数据,通过确定顶线、基线、底线位置,有效消除成像质量及数据处理等的误差,准确确定质心横坐标,采用质心算法求取平均光栅间距,通过与光栅间距标称值比较计算校准系数和校准误差;为验证放大倍率校准结果的可靠性,对纳米颗粒粒度标准物质进行测量。实际测量的平均粒径与标准值一致,表明该校准方法准确可靠,可有效避免图像质量和人为因素对测量结果的影响,达到对纳米和亚微米颗粒粒径准确测量的目的。
- 邢化朝刘俊杰许潇魏伟胜范燕马一博
- 关键词：扫描电子显微镜质心法颗粒粒径
- Cu(In,Ga)Se_2薄膜组成表面分析准确测量国际关键比对被引量：1
- 2015年
- 中国计量科学研究院参加了国际关键比对K129,采用X射线光电子能谱仪(XPS)建立了测量薄膜太阳能电池材料铜铟镓硒(CIGS)薄膜组成和深度成分分布的有效方法。采用合适的条件,对CIGS薄膜进行深度剖析,提出并完善了一套XPS深度剖析数据处理方法(全计数法和相对灵敏度因子法),对薄膜组成进行了准确测量。结果表明,该方法的测量重复性良好,5次测量的相对标准偏差(RSD)均小于2%,测量扩展不确定度优于4%,与其他国家计量院的结果取得等效一致。对比研究了不同灵敏度因子来源(由参考样品获得、仪器数据库的3种来源)对CIGS薄膜组成测量结果的影响,结果表明,仪器厂商数据库自修正的灵敏度因子最接近于参考样品,可较好地对CIGS薄膜进行原子含量测量。该方法可推广用于表面分析设备深度剖析薄膜样品时定量计算薄膜成分,提高测量薄膜成分的准确度,为薄膜太阳能电池材料研发和产业化提供参考依据。
- 王梅玲王海高思田马一博范燕宋小平
- 关键词：CIGS薄膜X光电子能谱国际关键比对
- 基于GIXRR反射率曲线的二氧化硅纳米薄膜厚度计算被引量：2
- 2016年
- 为了快速、准确得到纳米薄膜厚度,采用Kiessig厚度干涉条纹计算薄膜厚度的线性拟合公式,计算了不同系列厚度（10-120nm）的二氧化硅薄膜。薄膜样品采用热原子层沉积法（T-ALD）制备,薄膜厚度使用掠入射X射线反射（GIXRR）技术表征,基于GIXRR得到的反射率曲线系统讨论了线性拟合公式计算薄膜厚度的步骤及影响因素,同时使用XRR专业处理软件GlobalFit2.0比较了两种方法得到的膜厚,最后提出一种计算薄膜厚度的新方法-经验曲线法。结果表明：峰位级数对线性拟合厚度产生主要影响,峰位级数增加,厚度增大;峰位对应反射角同样对线性拟合厚度有较大影响,表现为干涉条纹周期增大,厚度减小。但峰位级数及其对应反射角在拟合薄膜厚度过程中引入的误差可进一步通过试差法,临界角与干涉条纹周期的校准来减小。对任意厚度的同一样品,线性拟合和软件拟合两种方法得到的薄膜厚度具有一致性,厚度偏差均小于0.1nm,表明线性拟合方法的准确性。在厚度准确定值的基础上提出薄膜厚度与干涉条纹周期的经验关系曲线,通过该曲线,可直接使用干涉条纹周期计算薄膜厚度,此方法不仅省略了线性拟合过程中确定峰位级数及其对应反射角的繁琐步骤,而且避免了软件拟合过程中复杂模型的建立,对快速、准确获得薄膜厚度信息具有重要的意义。
- 马一博王梅玲王海袁珮范燕邢化朝高思田
- 关键词：厚度测量二氧化硅薄膜经验关系
- XPS分析过程中X-射线照射对PET的影响
- 2015年
- 利用X-射线光电子能谱仪的X-射线源照射PET薄膜样品,通过XPS方法原位分析表征了X-射线照射对PET样品的损伤影响。X-射线照射对PET样品的影响显著:随着X-射线照射时间的延长,C1s峰整体向低结合能端发生位移,PET样品中元素C和O的原子百分含量分别呈线性升高和线性下降的趋势,官能团C—O和O=C—O的数量呈线性减小趋势。X-射线照射热效应导致的PET热降解是造成这些变化的主要原因。
- 范燕王海王梅玲马一博魏伟胜邢化朝
- 关键词：降解
