石钖
- 作品数：1 被引量：5H指数：1
- 供职机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究被引量：5
- 2011年
- 研制了斐索式红外干涉仪,口径为120mm,配置F/1,F/4标准球面锗透镜,用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量。干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路,并配合光栅尺,实时监测标准镜和被测件的方位,解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难。采用在线标定的方法,实现了大伸长量移相器的标定。使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量,并标定了系统误差。检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ,测量重复性RMS优于0.002λ。
- 袁群高志山李建欣周宇轩褚光石钖
- 关键词：非球面光栅尺
