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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇透过率
  • 1篇红外
  • 1篇红外波段
  • 1篇ZR
  • 1篇HF
  • 1篇MEN
  • 1篇波段
  • 1篇ME

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇唐伟忠
  • 1篇吕反修
  • 1篇于盛旺
  • 1篇许恒志
  • 1篇胡浩林
  • 1篇惠大圣

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
2011年
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态的结构。用分光光度计和傅里叶红外仪对薄膜的光学透过率的测试表明,TiNx薄膜在可见光及红外波段基本上是不透的,而ZrNx、HfNx薄膜在相应的波长范围,特别是在红外波段则有较高的光学透过率。比较不同N2/Ar流量比条件下制备的MeNx(Me=Zr、Hf)薄膜发现,ZrNx、HfNx两种薄膜的结构和光学性能没有发生显著的变化。最后,在ZnS衬底上制备的HfNx薄膜,在不降低ZnS的光学透过率的情况下,显著地提高了ZnS的表面硬度。因此,HfNx薄膜有望成为红外光学窗口的一种新的保护膜材料。
许恒志唐伟忠于盛旺胡浩林惠大圣吕反修
关键词:红外波段透过率
共1页<1>
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