公共文化服务平台

共 2 条记录，以下是 1-2

全选清除导出

排序方式：

基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台被引量：7: 2006年; 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用.; 张怀江志斌郭乘涛刘惠然; 关键词：半导体晶圆制造系统仿真实时调度

基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法被引量：2: 2006年; 提出一种基于自治与协调的实时派工机制,并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法,该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性,根据不同的状态阈值采用不同的派工规则以进行控制。通过基于拓展型面向对象Petri网仿真平台的实验证明,该算法在绩效水平上优于其他两种算法。并且采用响应曲面法和期望函数对仿真结果进行优化,以获得更好的系统绩效。; 江志斌张怀刘惠然; 关键词：响应曲面法

全选清除导出

共1页<1>

刘惠然