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肖天庆

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：北京师范大学更多>>
相关领域：电子电信冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇等离子体
  • 3篇通电螺线管
  • 3篇离子束
  • 3篇螺线管
  • 3篇卷材
  • 3篇靶材
  • 2篇圆截面
  • 2篇截面
  • 1篇绕制
  • 1篇力学性能
  • 1篇非晶
  • 1篇力学性

机构

  • 4篇北京师范大学

作者

  • 4篇廖斌
  • 4篇肖天庆
  • 3篇张荟星
  • 3篇黄杰
  • 3篇吴先映
  • 1篇张旭
  • 1篇周晗
  • 1篇王宇东

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2016
  • 1篇2015
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置
一种用于材料表面沉积镀膜的圆形靶阴极真空电弧等离子体磁过滤矩形引出装置，该装置由一个矩形口梯形管道和圆弧绕制的磁场线圈构成一个梯形通电螺线管。为了克服圆形阴极靶材的阴极真空电弧源所产生的圆形束斑等离子体对长条状、大面积和...
吴先映黄杰廖斌张荟星肖天庆
文献传递
圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置
一种用于材料表面沉积镀膜的圆形靶阴极真空电弧等离子体磁过滤矩形引出装置，该装置由一个矩形口梯形管道和圆弧绕制的磁场线圈构成一个梯形通电螺线管。为了克服圆形阴极靶材的阴极真空电弧源所产生的圆形束斑等离子体对长条状、大面积和...
吴先映肖天庆黄杰廖斌张荟星
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圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置
一种用于材料表面沉积镀膜的圆形靶阴极真空电弧等离子体磁过滤矩形引出装置，该装置由一个矩形口梯形管道和圆弧绕制的磁场线圈构成一个梯形通电螺线管。为了克服圆形阴极靶材的阴极真空电弧源所产生的圆形束斑等离子体对长条状、大面积和...
吴先映黄杰廖斌张荟星肖天庆
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磁过滤阴极弧法制备的非晶金刚石厚膜
磁过滤阴极弧沉积技术可以在室温下制备高质量类金刚石薄膜,薄膜的sp3键含量高达85％,具有优异的性能如极高的硬度,低的摩擦系数和高的化学稳定性,因而是耐磨表面保护薄膜的理想选择,在光学、机械、航空航天和军工等领域有着广阔...
侯庆艳沈永青周晗肖天庆王宇东廖斌张旭
关键词：力学性能
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