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曹宁
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1
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供职机构:
上海大学机电工程与自动化学院
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发文基金:
上海市科学技术委员会资助项目
国家自然科学基金
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相关领域:
动力工程及工程热物理
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合作作者
杜林
上海大学机电工程与自动化学院
刘梅
上海大学机电工程与自动化学院
吴智政
上海大学机电工程与自动化学院
饶进军
上海大学机电工程与自动化学院
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2017
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非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计
2017年
纳米线机械性能测试中,常见MEMS器件大都采用焊接或沉积方式固定纳米线,限制了器件寿命和测试重复性。针对焊接方式测试的不足,设计了一种非焊接式纳米线机械性能测试MEMS器件。在静电叉指和支撑梁结构的基础上,设计了利用梁刚度差进行夹紧和拉伸操作的结构,其中设计了V型结构以避免焊接纳米线。利用有限元仿真软件进行了仿真验证,确定了最优结构尺寸,V型缝隙夹角小于22.5°时能满足纳米线机械性能测试要求,所设计器件提高了测试器件的重复利用率。
杜林
饶进军
吴智政
刘梅
曹宁
关键词:
微机电系统
机械特性
静电驱动
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