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曹宁

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 1篇微机电系统
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米线
  • 1篇静电驱动
  • 1篇机电系统
  • 1篇机械特性
  • 1篇刚度
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇饶进军
  • 1篇吴智政
  • 1篇刘梅
  • 1篇杜林
  • 1篇曹宁

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计
2017年
纳米线机械性能测试中,常见MEMS器件大都采用焊接或沉积方式固定纳米线,限制了器件寿命和测试重复性。针对焊接方式测试的不足,设计了一种非焊接式纳米线机械性能测试MEMS器件。在静电叉指和支撑梁结构的基础上,设计了利用梁刚度差进行夹紧和拉伸操作的结构,其中设计了V型结构以避免焊接纳米线。利用有限元仿真软件进行了仿真验证,确定了最优结构尺寸,V型缝隙夹角小于22.5°时能满足纳米线机械性能测试要求,所设计器件提高了测试器件的重复利用率。
杜林饶进军吴智政刘梅曹宁
关键词：微机电系统机械特性静电驱动
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