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张丽

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十七研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇高稳定
  • 1篇薄膜电阻

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇姜立娟
  • 1篇张丽

传媒

  • 1篇微处理机

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高稳定薄膜电阻技术及其应用被引量：2
2008年
首先对有关薄膜电阻的理论作了一定的探讨,得出薄膜电阻随电阻率的增加,其温度系数将会减小;在一定厚度范围内薄膜厚度减小,其温度系数减小;适当的成膜工艺能控制和改善电阻的温度系数的结论。给出了制备薄膜电阻的试验方法(调整薄膜的淀积条件以获得高质量的薄膜,再通过热处理激活)及试验结果,对影响电阻特性及稳定性的一些条件进行了讨论,并探讨了高稳定薄膜电阻技术在集成电路中的应用前景。该工艺现已在双极和MOS电路中得到了很好的应用,拥有更快、更好的发展前景。
张丽姜立娟
关键词：薄膜电阻高稳定
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