殷秀华
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春物理所更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较被引量：4
- 1998年
- 主要研究了用干法刻蚀和各向同性湿法刻蚀的方法在〈１００〉晶面和〈１１１〉晶面的单晶硅衬底上制备硅微尖．结果表明干法刻蚀和〈１１１〉晶面的硅衬底各向同性湿法腐蚀容易制备出顶端曲率半径比较小的硅微尖，通过实验。
- 王维彪金长春赵海峰王永珍殷秀华范希武梁静秋姚劲松
- 关键词：干法刻蚀湿法微电子器件
- 国产石墨管与岛津AA仪器的匹配并与日本管比较某些性能指标
- 1991年
- 一、前言近年来,国内许多单位购进日本岛津公司的原子吸收光谱仪器,随机带来的日本产石墨管都已用尽或即将用尽。如若继续购买日本产石墨管,一则所需外汇来之不易,二来价格较贵,这就给购买带来了实际困难。若用国产管来代替日本管,不但购买方便,价格便宜,而且对国内制作石墨管的工业和工艺定会起到扶持和促进的作用。因此、石墨管国产化是一项很有实际意义的工作。在本工作中,使用核工业部北京五所制作的石墨管,做了与岛津仪器相匹配的工作,并与日本产石墨管比较了灵敏度、精密度,管子空白值、耐酸性能等指标。
- 崔国军殷秀华雷力
- 关键词：原子吸收光谱仪石墨管
