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冯嘉恒
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
唐立丹
辽宁工业大学材料科学与工程学院
王冰
辽宁工业大学材料科学与工程学院
夏洋
中国科学院微电子研究所
屈芙蓉
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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