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谢辉

作品数：2 被引量：7H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：河北省科学技术研究与发展计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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