2024年8月17日
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阴亚东
作品数:
33
被引量:32
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
国家高技术研究发展计划
江苏省科技支撑计划项目
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
电气工程
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合作作者
阎跃鹏
中科院微电子研究所昆山分所江苏...
牟荣增
中国科学院微电子研究所
张利红
福建江夏学院电子信息科学学院
杜占坤
中国科学院微电子研究所
韦晨君
南京理工大学电子工程与光电技术...
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所获基金
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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