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张巍

作品数：19 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金基础研究重大项目前期研究专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电气工程交通运输工程机械工程动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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