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尉志伟

作品数：17 被引量：16H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项北京市科技新星计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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电子科技大学
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