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肖奇军

作品数:86 被引量:123H指数:6
供职机构:肇庆学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术机械工程交通运输工程电子电信更多>>
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肇庆学院
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广东工业大学
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广东工业大学机电工程学院
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
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肇庆学院电子信息与机电工程学院
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肇庆学院电子信息与机电工程学院电子信息工程系
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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:MEMS 微机电系统 力学性能 微电感 微陀螺
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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
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上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:MEMS 微机电系统 微陀螺 碳纳米管 微电子机械系统
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