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李海亮
作品数:
83
被引量:52
H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
理学
机械工程
生物学
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合作作者
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
牛洁斌
中国科学院微电子研究所
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工...
李冬梅
中国科学院微电子研究所
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
北京工业大学
研究主题:数值模拟 功能模块 抗震性能 性能研究 软件设计
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
北京工业大学激光工程研究院
研究主题:激光技术 激光器 激光焊接 激光 准分子激光
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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相关人物
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