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万军

作品数：44 被引量：32H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
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中国科学院
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浙江大学电气工程学院
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嘉兴科民电子设备技术有限公司
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研究主题：化学吸附 原子层沉积 晶圆 等离子体 氮化碳薄膜
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