2024年8月19日
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梁圣法
作品数:
52
被引量:5
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
中国科学院战略性先导科技专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
医药卫生
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合作作者
李冬梅
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
李小静
中国科学院微电子研究所
詹爽
青岛科技大学材料科学与工程学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品
相关人物
相关机构
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