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邢钊
作品数:
19
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
基础研究重大项目前期研究专项
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相关领域:
电气工程
交通运输工程
电子电信
机械工程
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合作作者
贾锐
中国科学院微电子研究所
张巍
中国科学院微电子研究所
陈晨
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
张代生
中国科学院微电子研究所
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品
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