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谢耿勋

作品数：5 被引量：6H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信动力工程及工程热物理一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 全自动 半导体设备
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