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黄森

作品数：85 被引量：23H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金香港特区政府研究资助局资助项目香港创新及科技基金更多>>
相关领域：电子电信文化科学一般工业技术理学更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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